簡(jiǎn)要描述:布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡具有AutoMET™計(jì)量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計(jì)量和納米檢查系統(tǒng)。作為Dimension Edge AFM平臺(tái)的擴(kuò)展,Edge PSS融合了Dimension AFM系統(tǒng)所享有的令人難以置信的價(jià)值和分辨率,同時(shí)還提供了產(chǎn)品
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,電子 |
布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡
帶有AutoMET的Dimension Edge PSS提供了納米分辨率,可用于分析PSS基板的每個(gè)關(guān)鍵參數(shù),同時(shí)自動(dòng)收集整個(gè)晶片和晶片之間的信息。
布魯克的PSS分析包可以同時(shí)提供以下數(shù)據(jù):
我們?cè)贏utoMET軟件中添加了新的測(cè)量功能,以增強(qiáng)PSS結(jié)構(gòu)的分析。
Dimension Edge PSS具有亞微米間距分辨率,可滿足LED制造路線圖的需求。其小于0.2nm的本底噪聲可提供裸露的基板和Epi粗糙度測(cè)量,并且可容納2至6英寸的晶片,從而提供了樣品靈活性。
帶有9個(gè)晶片卡盤(pán)的Dimension Edge PSS AutoMET軟件和系統(tǒng)。
布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡
具有AutoMET™計(jì)量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計(jì)量和納米檢查系統(tǒng)。作為Dimension Edge AFM平臺(tái)的擴(kuò)展,Edge PSS融合了Dimension AFM系統(tǒng)所享有的令人難以置信的價(jià)值和分辨率,同時(shí)還提供了產(chǎn)品
平頂圖案藍(lán)寶石襯底的3D AFM圖像。
基于基體測(cè)量的解決方案。該系統(tǒng)集成了布魯克專(zhuān)有的AutoMET控制和分析軟件,該軟件專(zhuān)門(mén)為滿足圖案化藍(lán)寶石襯底(PSS)供應(yīng)商的需求而設(shè)計(jì),可提供價(jià)值不菲的原子力顯微鏡*的自動(dòng)化水平和易用性。
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