簡要描述:KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀臺階儀 對應大面積樣品段差測定的全自動機型。● 機臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā),可搭配機械手臂自動進退樣品。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣 |
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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述:
● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā),可搭配機械手臂自動進退樣品。
高精度.安定性.機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述:
重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
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測定范圍 | Z:100um |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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